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中国科学院02专项管理办公室

  一、成立背景及基本情况

  支撑当今信息社会发展的集成电路光刻是代表国家科技实力的重要战略高技术。它综合了最高水平的光学工程、信息、控制的技术,一直被少数西方国家垄断。2008年启动的02专项­——“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项以建立自主的高端光刻技术和产业发展能力作为重大、核心的战略目标。

  2009年,光电研究院组织长春光机所、光电所(成都)、上海光机所等单位,承担了国产高端光刻机极为核心、技术挑战极大的曝光光学系统及曝光光源的攻关任务。同时,为有效组织中科院在相关领域优势力量,圆满完成02专项的攻关任务,并带动我院超高精密光学工程技术的整体突破,建立了“中科院02专项光刻机关键部件研发任务管理体系”。

  二、组织机构

  1. 中科院02专项任务实施管理体系

  中科院02专项光刻机关键部件研发任务管理体系由领导小组、技术总体组、管理办公室组成。

  领导小组组长单位为光电研究院,成员单位有长春光机所、光电所(成都)、上海光机所等,领导小组由相关单位法人代表或法人授权代表组成;技术总体组由中科院主要任务承担单位委派的相关领域专家组成;管理办公室依托光电研究院,设主任、副主任以及项目、质量、保密、财务主管等。

 

 

  图:中科院02专项任务实施管理体系

  2. 中科院02专项任务管理办公室

  中科院02专项任务管理办公室职责为:实施有效的技术、计划管理,保证02专项研发任务的顺利实施;与02专项总体部署衔接,发挥我院在国家重大专项中攻坚克难的核心作用;组织开展相关领域知识产权战略研究,为我国高端光刻机产业化发展提供有力支撑;制定我院超高精密光学工程技术发展线路图,体现我院在该领域的引领作用。

  中科院02专项任务管理办公室自成立以来,通过组织中科院内各优势单位参与制定02专项总体发展路线,承担相关研发任务攻关;组织制定管理办法,规范并督促项目实施;组织相关领域的技术合作,牵头组织国际合作及统一采购,以及牵头组织知识产权全过程管理;组织中科院内各优势单位参加光刻机设备产业技术创新战略联盟等工作有效支撑了中科院在02专项相关领域的技术发展。

  三、光电院02专项任务主要成果

  成果名称:光刻用准分子激光器原理样机

  (1)项目背景:2009年,光电院作为项目总体单位,牵头组织国内上光所、光电所(成都)、安光所、长光所、华中科技大学等单位承担02专项研发任务,在国内优势研发团队及现有准分子激光光源研发基础上结合中俄国际合作,通过技术引进、吸收、创新,开展了相关关键技术攻关验证和单元模块研发。

  (2)成果取得的突破点:在国内首次攻关突破了光刻用准分子激光器研发中高重频放电、窄线宽、MOPA同步放大三大核心关键技术,具备了系统设计、制造、集成检测等综合研发实力;研制出光刻用准分子激光器原理样机,为整机研发提供了关键部件支撑;为后续面向产品化光刻用准分子激光样机的研发打下技术基础,从而填补我国在光刻用准分子激光器领域的空白。

  

  光刻用准分子激光器原理样机
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