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清华大学曾理江教授授课“光电讲堂”
时间:2018-09-13 来源: 作者: 点击:

  95日,应光电院科技处和激光测量技术室邀请,清华大学曾理江教授在光电院做“光电讲堂”报告,光电工程部激光测量室主任周维虎研究员及相关科研人员、研究生参加了此次交流活动。  

  曾理江教授近年主要从事昆虫运动仿生学,精密计量与测试,干涉测量与全息光栅制作工艺方面的研究。发表学术论文80多篇,授权发明专利3项,曾获国家“杰出青年科学基金”和教育部优秀青年教师基金 

  此次报告题目为“二维计量光栅制作中的关键问题”。大尺寸二维全息光栅可应用于光刻机、天文光谱仪、高能量脉冲压缩系统等方面。光刻机用大尺寸计量二维光栅,可扩大测量范围,提高测量系统的抗干扰性。报告从做大光栅的理由,大光栅制作过程中的关键技术两方面展开。介绍了大光栅在诸如色散型光谱仪、高能激光脉冲压缩以及计量光栅尺中的应用,对比了在不同应用中的关键指标,而后介绍了大光栅制作中的曝光拼接、宽光束扫描技术以及如何控制光栅额度周期误差以及相关标定技术。与会人员就报告中多方面相关内容进行了热烈的交流和讨论。 

  曾理江教授的精彩报告引起了与会人员的浓厚兴趣,对于启发科研人员研究思路、拓宽学术视野、开展技术合作具有很好的促进作用。 

  (来源:光电工程部 科技一处) 

讲堂现场

讲堂现场

 
 
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